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日本岛津TMP-203M/MC磁悬浮分子泵采用五轴控制磁性轴承系统，无需使用油润滑，在运转过程当中，无任何摩擦，是真正做到完全无油、免维护、***安装的涡轮分子泵，Shimadzu TMP-203LM/LMC/TMP-203M/MC分子泵抽速可达到190L/s，转速为50000rpm，对应的控制器为：Shimadzu EI-D203M
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