资讯详情
等离子表面处理设备寒武纪技术新能源表面活化
发布者:  发布时间:2024-04-02 09:33:00

设备简介:CPT真空式等离子处理设备可选择搭配中频或射频电源,全自动控制运行系统,工艺过程参数可监测控制。广泛应用于各大行业加工制造过程中基材表面的预处理,提升基材表面的粘接力、增加表面活性和表面微量有机物的去除等,以满足后续工艺的功能要求和提升产品制造良率及质量。
应用领域:适用半导体、汽车制造、新能源、医疗器械、3C产品、电子线路板、印染纺织、印刷打印、军工等广泛领域。
设备工作原理:当chamber内部之压力低到某一程度(约10-1 torr左右)时, 气态正离子开始往负电极移动, 由于受电场作用会加速撞击负电极板, 产生电极板表面原子, 杂质分子和离子以及二次电子(e-)…等, 此e-又会受电场作用往正电极方向移动, 于移动过程会撞击chamber内之气体分子(ex. : Ar原子…等), 产生Ar+等气态正离子, 此Ar+再受电场的作用去撞击负电极板, 又再产生表面原子以及二次电子(e-)…等, 如此周而复始之作用即为Plasma产生的原理.

工作原理:真空等离子清洗机利用两个电极形成电磁场,使用真空泵工作实现有效的真空度,随气体越来越稀薄,分子之间的间距及分子或离子的自由运动的距离也越来越长,受磁场作用发生碰撞而形成等离子体并产生辉光,等离子体在电磁场内的空间运动,不断轰击物体表面,去除表面有机污染物或其它杂质,从而达到表面处理清洗,活化,刻蚀的效果。

适用产品形状复杂、处理面较大,可选择两路或多路工艺气体,适用各种不同材质材料,匹配高密度等离子源,确保产品360度均匀清洗活化,UPH较高,且是环保工艺方式。

来源:
版权声明:机电一体化网转载作品均注明出处,本网未注明出处和转载的,是出于传递更多信息之目的,并不意味 着赞同其观点或证实其内容的真实性。如转载作品侵犯作者署名权,或有其他诸如版权、肖像权、知识产权等方面的伤害,并非本网故意为之,在接到相关权利人通知后将立即加以更正。联系电话:0571-87774297。
0571-87774297