二手日本光驰窄带滤光片/介质膜/ITO膜/金属膜光学镀膜机OTFC-1550CBI/DBI介绍
设备尺寸:
设备名称 OTFC-1550CBI/DBI
真空室 SUS304, φ1550mm×1800mm (H)
&:13723521401
工件架 φ1400mm
工件架转速 10rpm to 30rpm(可变)
光学膜厚控制 HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪
波长范围:350nm to 1100nm
反射式/透射式
水晶式膜厚计 XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源 电子枪2套
离子源 17cmRF离子源
机械性能:
排气系统 机械泵+2个扩散泵+Polycold(或2个冷凝泵)
达到压力 7.0×10-5Pa 以下
排气时间 15分(大气压~1.3×10-3Pa)
基板温度 :350℃
工作条件:
设备尺寸 约5500mm(W)×7200mm(D)×3700mm(H)
电源 3相,200v,50/60Hz, 约120KVA
水流量 180升/分以上
空气压力 0.5MPa以上
重量 约10000kg
1.机械泵分类:机械泵种类繁多,常用滑阀式(主要用于大型设备)、四种类型的活塞往复式、定片式和旋片式(目前应用***,本文主要介绍)。
2.机械泵从大气中工作,其主要参数为极限真空和抽气速率,是设计和选择机械泵的重要依据。单级泵可将容器从大气泵送到1.0*10-1PA的极限真空,双级机械泵可将容器从大气泵送到6.7*10-2帕,甚至更高。泵送速率是指旋片泵按额定转数运行时,单位时间内排出的气体体积,可以用以下公式计算:Sth=2nvs=2nfsLL2nfs fs表示空腔截面积,L表示空腔长度,系数表示转子每周旋转两次,Vs表示当转子处于水平位置时,空腔体积,速度为n。机械泵的排气效果也与电机的速度和皮带的松紧度有关。当电机皮带松动,电机速度慢时,机械泵的排气效果会变差。因此,需要定期维护和检查。机械泵油的密封效果也需要定期检查。油太少,无法达到密封效果。泵内会漏气,油太多,堵塞吸气孔,无法吸气和排气。一般来说,
3.机械泵常用于去除干燥空气,但不能去除含氧量高、爆炸性和腐蚀性气体。机械泵通常用于去除***性气体,但对水气没有良好的影响,因此不能去除水气。旋转泵的主要部件是定子、转子、弹片等,转子在定子中,但与定子不同,如两个内切割圆,转子槽中有两个弹片,两个弹片中间有弹簧,以确保弹片靠近定子的内壁。
镀膜机设备清单
镀膜机清单 | |
*** | 规格(MM) |
日本光弛 | 1300.1550.2350 |
日本新科隆 | 1350 |
韩国韩一镀膜机 | 900.1200.1600.2050 |
韩国联合镀膜机 | 1650.205 |
莱宝镀膜机 | APS1100 |
台湾龙翩 | 1400.1650.1800 |
成都南光 | 1100 1300 |
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