| 产品特性稳定性好 | 是否进口否 |
| 产地日本 | 加工定制否 |
| 品牌XL/斯克罗 | 电镀位置浸镀 |
| 镀种镀镍系列 | 型号1550MM 1800MM |
| 适用范围光学行业 ，半导体行业 | 产品别名电镀机 |
产品简介
详细说明
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二手日本光驰OTFC-1800MM镀膜机含安装调试可租可售
二手日本光驰OTFC-1800MM镀膜机含安装调试可租可售设备介绍
.用途：此真空镀膜机是镀制防污膜（AS膜）及防反射膜+防污膜（AF+AS膜）型光学镀膜机，应用于镀膜机等所配的触摸屏。真空中制备膜层可防止膜料和镀件表面的污染，消除空间碰撞，提高镀层的致密性和可制备单一化合物的特殊功能的镀层。为了提高镀层厚度的均匀性，运动模式的膜均匀性好，镀层的台阶覆盖性能好，承载能力大，可充分利用有效空间的真空镀膜室，是一个运动的常用模式。排气系统一般由机械泵，扩散泵，管道和阀门组成。为了提高泵的流量，可以添加增压器之间的机械泵和扩散泵。因此，不仅在较短的时间内低压力以***快速的工作循环的排气系统，还需要确保气体的蒸发源和蒸镀工件表面产生快速的去除。蒸发系统包括电气设备和加热蒸发源蒸发源。电气设备包括测量真空薄膜的厚度和控制
3.特征：磁密封驱动的基板旋转式可得到稳定和均匀的膜厚分布
4.配备：配备RF离子源以提高膜的***性；用于防污膜（AS 膜）批量生产；防污膜（AS 膜）批量生产。
5.性能：达到压强7.0E-5Pa以下
6.配置参数：
OTFC-1550光学镀膜机配置
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真空室：SUS304,Ф1550*1800MM |
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工件架：Ф1400 |
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工件架转速：10rpm to 30rpm (可变) |
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光学膜厚控制：HOM2- -R -VIS350A |
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光学膜厚监控仪：波长范围: 350nm to 1100nm |反射式 |
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水晶式膜厚计：XTC/3+6点式水晶传感器 |
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蒸发源：2套日本电子24P双枪 |
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离子源：23 寸光驰RF离子源 |
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排气系统：机械泵1个，扩散泵Polycold 275机械泵+爱德华配套罗茨泵 |
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性能 |
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达到压力：7. 0X10-5Pa以下 |
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排气时间：20分(大气压~1. 3X 10-3Pa) |
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基板温度：: 350C |
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工作条件 |
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电源：3相, 200v, 50/ 60Hz,约120KVA |
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水流量：180升/分以上 |
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空气压力：0.5MPa以上 |
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重量：约11000kg |
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