在线出售光驰OTFC-1550真空镀膜机 光学镀膜机 玻璃镀膜机

产品名:OTFC-1550DBI 型式:1500DBI

原装高配OTFC-1550光驰机(年份:2015. 11

日本电子16P双枪，23 寸光驰RF离子源

275机械泵+爱德华配套罗茨泵

HOM2R-VIS350A光学膜厚监控仪

XTC/3+6点式水晶传感器

1.产品参数:

真空室中1550 X 1800mm(H)

工件架φ1400mm工件架转速10rpm to 30rpm (可变)

光学膜厚控制HOM2- R-VIS350A

波长范围:350nm to 1100nm 光学膜厚监控仪反射式/透射式

水晶式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器

蒸发源电子枪2套

离子源17cmRF 离子源

机械泵:排气系统2个扩散泵Polycold(或2 个冷凝泵)

1. 2. 性能:达到压力7.0X10-5Pa以下排气时间20分 (大气压,1.3X10- 3Pa)基板温度高:350
2. 3. 设备尺寸:约5500mn(W) X 7200mm()X3700mm(H) 3相, 200v, 50/60Hz,
3. 4. 电源约120KVA 水流量180 升/分以上 空气压力0. 5MPa以上
4. 5. 重量约11000kg
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   

	RMB20000	RMB250000	RMB150000	RMB180000
	RMB599	RMB180000	RMB80000	RMB6000
	RMB500000	RMB7000	RMB300	RMB15
	RMB4380	RMB39900	RMB30000	RMB8500