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产品简介

SURAGUS 薄膜电阻测试仪

产品价格：￥

上架日期：2022-09-22 09:52:31

产地：本地

发货地：本地至全国

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详细说明

SURAGUS 薄膜电阻测试仪方块电阻测试仪
SURAGUS EddyCus TF map 2525 薄膜面电阻和厚度测试仪
方阻测试仪薄膜面阻测试仪

TF lab系列产品是一款适合实验室研发或成品检测使用的薄膜面电阻（方块电阻）及薄膜厚度测量的仪器。

特点

非接触成像
高解析度成像（25 至1,000,000 点）
缺陷成像
封装层的地图

参数

面电阻（方块电阻）（欧姆/平方）
金属层厚度（nm、μm）
金属基板厚度（nm、μm）
各向异性
缺陷
完整性评定

应用

建筑玻璃（LowE）
触摸屏和平板显示器
OLED和LED应用
智能玻璃的应用
透明防静电铝箔
光伏
半导体
除冰和加热应用
电池和燃料电池
包装材料

材料

金属薄膜和栅格
导电氧化物
纳米线膜
石墨烯、CNT（碳纳米管）、石墨
打印薄膜
导电聚合物（PEDOT:PSS）
其他导电薄膜及材料

规格参数

测量技术：非接触式涡流传感器
基板：例如：箔片、玻璃、晶圆，等等
最大扫描面积：10 inch / 254 x 254 mm（根据要求可以更大）
边缘效应修正/排除：对于标准尺寸，排除2 mm的边缘
最大样品厚度/传感器间隙：2 / 5 / 10 / 25 mm（由最厚的样本确定）

面电阻（方块电阻）的范围：
低 0.0001 - 10 Ohm / sq; 2 至 8 % 精度
标准 1 - 1,000 Ohm / sq; 2 至 8 % 精度
高 10 - 10,000 Ohm / sq; 4 至 8 % 精度

金属膜的厚度测量（例如：铝、铜）：2 nm - 2 mm (与薄膜电阻一致)
扫描间距：1 / 2 / 5 / 10 mm （根据要求的其它尺寸）

每单位时间内测量点（二次形）：
5分钟内10,000个测量点
30分钟内1,000,000 个测量点

扫描时间：
4 inch / 100 x 100 mm，在0.5至5分钟内（1-10mm 间距）
8 inch / 200 x 200 mm，在1.5至15分钟内（1-10mm 间距）

装置尺寸（宽/厚/深）：549 x 236 x 786(836) mm / 23.6 x 9.05 x 31.5 inch
重量： 27 kg

可用特色：
薄膜面阻成像
各向异性电阻传感器

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