产品简介
二维材料设备CVD系统
二维材料设备CVD系统
产品价格:¥55500
上架日期:2018-06-06 11:06:31
产地:安徽合肥市
发货地:合肥
供应数量:不限
最少起订:1套
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详细说明

    此款CVD系统前端配有可加热到400℃的预加热器,辅助二维材料蒸发,后端为温区管式炉,温度控制精确,操作简便。并配质量流量计系统和真空系统,可以准确的反应腔体内部的气体压力和气体流量,对于做低压CVD实验非常实用,重复性好

    硫粉预热器

    工作温度:400℃

    最高温度:1200℃

    最快升温速率:≤30℃/min

    推荐升温速率:10℃/min

    控温方式:智能化30段可编程控制

    工作电压:AC220V

    额定功率:800W

    控温精度:±1℃

    加热元件:电阻丝

     

     

     

     

     

     

     

     

     

    加热区参数:

     

    额定功率:5kw

    最高温度:1200℃

    工作温度:1100℃

    最大升降温速率:≤30℃/min

    炉管尺寸:高纯度石英管Φ25\Φ50\Φ60\Φ80\Φ100X1650mm  (管径可选)

    加热区长度:200+200mm  

    恒温区长度:290mm

    控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能。

    标准配件:石英管1支,莫来石管堵2对,不锈钢法兰1套,硅胶密封圈2套,高温手套1副,坩埚钩1支;

    尺寸:约 550×380×600 mm(炉子)

    约:1700×380×620 mm(炉子+滑轨)

    可选配单温区、双温区、三温区等加热区。

     

     

     

     

     

     

     

    气路系统参数:

     

    质量流量计参考量程(N2)100sccm200sccm500sccm (量程可选)

    准确度:±1.5%

    线性:±0.51.5%

    重复精度:±0.2%

    响应时间:气特性:14 Sec,电特性:10 Sec

    工作压差范围:0.10.5 MPa

    最大压力:3MPa

    接口:Φ6,1/4''

    显示:4位数字显示

    工作环境温度:5~45高纯气体             

    内外双抛不锈钢管:Φ6

    压力真空表:-0.10.15 MPa, 0.01 MPa/

    截止阀:Φ6

    连接头类型:双卡套不锈钢接头。

    可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计。

     

     

     

     

     

     

     

    低真空系统参数:

     

    国产油泵型号:BSV-10

    抽速:10m³/h

    极限真空度:5*10-1pa

    电源:220v 50hz

    电机功率:0.4kw  

    进排气连接口:KF25

    用油量:1.1L

    电机转速:1440rpm

    工作环境温度:5-40℃

    噪音:≤56db

    电阻真空计参数:

    1.配用规管:ZJ-52T电阻规,

    2.测量范围: 10 5 ~10 -1 Pa,

    3.测量路数: 1路

    4.控制范围: 5×10 3 ~5×10 -1 Pa,

    5.控制方式:继电器触点输出,负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载,

    6.电源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

    7.功耗: 20W

     

     

     

     使用注意事项

     

     

     

     

     

     

    • 炉管内气压不可高于0.02MPa 。  
    • 当炉体温度高于1000时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的 气压需和大气压相当,保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。
    •  石英管的长时间使用温度<1100℃。
    •  对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)。
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