产品简介
.jpg "JELSAL3482HV晶圆校准器waferaligner,适用于100-200mm晶圆")
详细说明
| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | JEL | ||
| 英文名 | wafer aligner | ||
| 品名 | 晶圆校准器 | ||
| 产地 | 中国 | ||
| 加工定制 | 否 | ||
| 晶圆尺寸 | 100-200 mm | ||
| 方式 | 伯努利吸附方式 | ||
| 控制方式 | 串口RS232C或者并口光学I/O口 | ||
| 尺寸 | 电仪 | ||
| 批号 | 电仪 | ||
| 封装 | 电仪 | ||
| 数量 | 9999 | ||
| 类似 | 自动 | ||
| 可售卖地 | 北京;天津;河北;山西;内蒙古;辽宁;吉林;黑龙江;上海;江苏;浙江;安徽;福建;江西;山东;河南;湖北;湖南;广东;广西;海南;重庆;四川;贵州;云南;西藏;陕西;甘肃;青海;宁夏;新疆 | ||
| 材质 | 硅片 | ||
| 型号 | SAL3482HV | ||
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JEL SAL3482HV晶圆校准器wafer aligner特点：
适用于100-200 mm晶圆
可适用于硅片，带BG胶带（乳白色）的硅片，透明，半透明晶圆等不同材质晶圆的位置校准
使用自主研发的图像识别传感器，采用了控制器和电机驱动器集成到设备本体内部的一体化设计
可以根据晶圆尺寸，材质更改Spindle的直径，形状和材质可以使用伯努利吸附方式
控制方式：串口RS232C或者并口光学I/O口
不符合SEMI规格的缺口，缺边形状也可以提供定制设计
能够为Spindle增加Z轴以满足对晶圆进行升降的需求
晶圆重新拿起的动作对Z轴进行选择设定
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