氦离子气相色谱仪产品参数
多维系统，通过工作站设置的时间程序自动控制其进样、切换、切割与反吹等过程，完成包括高纯氮、高纯氢、高纯氧、高纯氦、高纯二氧化碳、高纯氩、氪气、氙气、氖气等高纯气体以及硅烷等电子工业用气体中痕量杂质的检测。

高纯气体分析符合以下标准
1、高纯气标准
GB/T 8979-2008《高纯氮》 GB/T 14599-2008《高纯氧》
GB/T 4844.3-1995 《高纯氦》 GB/T 4842-2006《氩》
GB/T 7445-1995 《纯氢、高纯氢、超纯氢》 GB/T 17873-1999《纯氖》
GB/T 5829-1995《氪气》 GB/T 5828-1995《氙气》
HG/T 3633-1999《纯甲烷》 GB 10621-2006《食品添加剂 液体二氧化碳》
2、电子气标准
GB/T 16942-1997《电子工业用气体 氢》
GB/T 16943-1997《电子工业用气体 氦》
GB/T 16944-1997《电子工业用气体 氮》
GB/T 16945-1997《电子工业用气体 氩》
GB/T 14604-93《电子工业用气体 氧》
GB/T