产品参数 | |||
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二手日本光弛OTFC-1800CBI/DBI双电子束蒸发镀膜机包安装保修服务 品牌 | 日本光弛 | ||
重量 | 约11200kgkg | ||
真空室 | SUS304 | ||
φ1800mm×1920mm (H) | |||
工件架 | φ1600mm | ||
工件转速 | 10rpm to 30rpm(可变) | ||
光学膜厚控制 | HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪 | ||
波长范围 | 350nm to 1100nm | ||
离子源 | 23cmRF离子源 | ||
电子枪 | 2套 | ||
达到压力 | 7.0×10-5?Pa 以下 | ||
排气时间 | 20分(大气压~1.3×10-3?Pa) | ||
基板温度 | 最高:350℃ | ||
设备尺寸 | 约5700mm(W)×7700mm(D)×4000mm(H) | ||
水流量 | 180升/分以上 | ||
空气压力 | 0.5MPa以上 | ||
可售卖地 | 全国 |