产品简介
详细说明
| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 是否支持加工定制 | 是 | ||
| 规格 | 205mm | ||
| 主电机功率 | 1KW | ||
| 电机功率 | 0.4 kW | ||
| 精度 | 0.5μm | ||
| 重量 | 1000kg | ||
| 生产地 | 广东深圳 | ||
| 品牌 | 方达 | ||
| 适用晶圆尺寸 | 4/6/8 英寸 | ||
| 介质尺寸 | 205 mm | ||
| 砂轮转速 | 500- 3000?min | ||
| 倒棱圆度 | ≤10μm | ||
| 直径控制 | ≤15μm | ||
| 外形尺寸 | 2000×1150×1950mm | ||
| 倒角有角 | ±0.05° | ||
| 作用对象 | 硅、晶圆等 | ||
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