一、基本概念
曝光机即电子束曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备。曝光机是20 世纪 60 年代初从扫描电子显微镜基础上发展起来, 70 年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业。
二、基本工作原理
在计算机的控制下,利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光,受电子束辐照后的光刻胶,其物理化学性质发生变化,在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域,从而在抗蚀剂上形成精细图形。
三、常见曝光机举例
MYCRO韩国制造的紫外曝光系统,适用于从特殊大小的基片到4尺寸很宽广范围材料的紫外或深紫外光曝光。MDA-400M系统成功地应用于半导体制造,光电电子,平板,射频微波,衍射光学,微机电系统,凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制和精度对准的技术要求。
MDA-400M系统组件:紫外光源构造、带托盘的晶片工作台、配CCD镜头的显微镜、监视器、掩膜夹具、紫外光源透镜、紫外光源镜片、紫外灯电源系统、操作控制器、350W紫外灯
四、 应用范围 用于半导体制造,光电电子,平板,射频微波,衍射光学,微机电系统,凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制和精度对准的技术要求。
以上就是关于曝光机的一些基本知识,希望能对您有所帮助。
详情请关注常州周氏电子设备有限公司官方网站:http://www.czzhoushi.com/