产品简介
Horiba SEC-Z514MGX质量流量控制器
Horiba SEC-Z514MGX质量流量控制器
产品价格:¥1000
上架日期:2010-11-11 14:00:10
产地:日本
发货地:上海
供应数量:不限
最少起订:1台
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详细说明
    • 日本HORIBA STEC-Z512MGX
    • 日本HORIBA STEC-Z514MGX
    • 高精度:设定流量值±1.0%.
      MFC的线性精度是由多项式近似曲线进行补偿的, 此技术保证在各控制范围内获得高的控制精度. 为了改善各种实际气体种类的控制精度, HORIBA STEC研发了标准的气体测量系统, 并在大量实验的基础上,采集各种制程气体的校准数据。
    • 高速响应
      SEC-Z500X 使用了最新开发的“可更改PID”系统,保证任意两个设定流量点之间的更改在1秒钟之内完成在设定不同流量时,PID数据将进行自动的调整,即使在气体种类和流量范围变更后,PID数据也能够自动优化,实现高速响应。
    • 复合气体、复合流量方案
      HORIBA STEC 新产品让客户轻松地在现场更改气体种类和流量成为现实. 我们的 Z500 设置软件简单、易用. 更好的是, 这些变更的完成甚至不需要将MFC从系统拆卸下来。 如此一来,就可以很大程度上减少客户备品的数量,同时节省了时间和成本。
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